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Overview

微处理器通常在大型半导体工厂生产。为了将微电子电路用于超纯硅晶体晶圆,要连续用各种液体处理晶圆——超纯水、各种酸和特殊化学品。这些液体储存在各种储罐里,通过管道连接到各个生产部门。
在许多情况下,消耗量至今都是纯粹根据储罐的填充水平来计算的。为了优化过程控制和资源使用,直接消耗量测量正变得越来越关键。然而,重要的是,绝对不能存在液体污染风险——特别是金属离子污染。
FLEXIM 的非侵入、无金属超声波流量测量系统是这种测量任务的最佳解决方案:
无金属超声波传感器只需夹在管道上,不会与流经管道或管子的介质接触,从而完全避免了所有污染风险。结合特殊的安装夹具,这套测量系统也可以准确无误地用于柔性管道,甚至在低至每小时仅数升的流速下也能测量。

Advantages

  • 由于采用非侵入式、无金属外夹式的流量测量传感器和安装夹具,没有污染高纯度液体的风险
  • 安装测量系统不需要管道工程,也适用于柔性管道
  • 非侵入式测量对具有化学腐蚀性的酸或固体颗粒不敏感
  • 通过精确平衡消耗值来优化过程
  • 即使在非常低的流量下也高度准确可靠