Overview
微处理器通常在大型半导体工厂生产。为了将微电子电路用于超纯硅晶体晶圆,要连续用各种液体处理晶圆——超纯水、各种酸和特殊化学品。这些液体储存在各种储罐里,通过管道连接到各个生产部门。
在许多情况下,消耗量至今都是纯粹根据储罐的填充水平来计算的。为了优化过程控制和资源使用,直接消耗量测量正变得越来越关键。然而,重要的是,绝对不能存在液体污染风险——特别是金属离子污染。
FLEXIM 的非侵入、无金属超声波流量测量系统是这种测量任务的最佳解决方案:
无金属超声波传感器只需夹在管道上,不会与流经管道或管子的介质接触,从而完全避免了所有污染风险。结合特殊的安装夹具,这套测量系统也可以准确无误地用于柔性管道,甚至在低至每小时仅数升的流速下也能测量。